电子半导体超纯水终端过滤配置思路
半导体晶圆制造对水中微粒与金属离子要求极高，18兆欧超纯水在使用前仍需经过终端过滤。终端袋式过滤器安装在机台取水点之前，截留管路中脱落的颗粒与微生物残骸。
超纯水终端过滤普遍采用1微米绝对精度熔喷滤芯或大流量过滤袋，筒体选用316L电解抛光筒体，内表面Ra≤0.4μm。所有焊缝采用自动氩弧焊，焊后做内窥镜检查。设备整体安装在洁净间内，外部用PVC或PVDF管连接。
运行监控上，终端过滤器前后安装在线颗粒计数器，一旦颗粒数上升立即报警。换袋必须在洁净环境内由身着洁净服的操作人员执行，拆下的旧袋用酒精擦拭外表面后才能带出洁净间。
选址上要靠近用水点，管路越短越好。长距离管路本身就是微粒污染源，终端过滤器距离机台越近，对产品的保护越直接。
